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Unser Technologie Know-how in der Herstellung von Mikrospitzen ermöglicht die Realisierung von Spitzen mit unterschiedlichsten Funktionen. So können wir Mikrospitzen aus elektrisch leitfähigem Silizium oder optisch transparenten Dielektrika fertigen. Abhängig vom verwendeten Material und Herstellungsprozess können Spitzenradien von wenigen Nanometern erreicht werden. Über die einfache Spitze hinaus sind wir in der Lage die Mikrospitzen mit zusätzlichen Ummantelungen zu versehen, die wir dann am vorderen Ende wieder öffnen. Dadurch können wir zum Beispiel optisch transparente Spitzen herstellen, die eine Austrittsöffnung für das Licht haben, die deutlich kleiner als die Lichtwellenlänge ist. Außerdem können elektrisch leitfähige Spitzen hergestellt werden, die eine elektrische Abschirmung besitzen. Anwendung: Durch Kombination mit weiteren Prozessen können wir Mikrospitzen zum Beispiel auch auf dünnen Cantilevern fertigen, die dann als Sensoren in der Rastersonden­mikroskopie eingesetzt werden können. Durch die geringen Spitzenradien erreicht man bei Anlegen einer elektrischen Spannung sehr hohe Feldstärken, wodurch sich Anwendungen im Bereich elektrischer Feldemitter ergeben. Auch die Möglichkeit die Spitzen mit einer zusätzlichen Ummantelungselektrode zu versehen, bietet Einsatz­möglichkeiten in der Elektronenoptik.

Der SM5108E ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensor-Chip aus Silizium. Der Chip ist extrem klein (0,69 mm x 0,69 mm) und wurde optimiert, um die höchstmögliche Genauigkeit für einen Chip dieser Größe zu erreichen. Dies wird durch die sorgfältige Platzierung der Widerstände und die mechanische Konfiguration erreicht. Der kleine Chip führt zu einer erheblichen Kosten­ein­spar­ung im Vergleich zu größeren Sensorchips. Dieser Sensor ist für Anwendungen mit hohen Stückzahlen gedacht, wie z.B. Reifendruckmessgeräte für Verbraucher oder Einwegmessgeräte mit stabiler Leistung. Der SM5108E ist als Absolut­druck­die in einem Messbereich von 0 bis 30, 60 und 100 PSI erhältlich. Er ist für die Montage auf Keramik- oder PCB-Substraten von OEM-Herstellern mit hohen Stückzahlen konzipiert. Merkmale - Hochleistungs-Absolutdrucksensor-Die - 0,69 x 0,69 x 0,4 mm Größe - 100 Millivolt Ausgang